Основните компоненти на сканиращия електронен микроскоп включват:
Източник на електрони – Това е мястото, където електроните се генерират термично при напрежение 1-40kV. Електроните се кондензират в снопове, които се използват за създаване на симулирани изображения и анализи. Могат да се използват три типа източници на електрони. e волфрамова тел, лантанов хексаборид и пистолет за полеви емисии (FEG)
Лещи – Има няколко кондензаторни лещи, които фокусират електронния лъч от източника през колоната в тесен лъч, образувайки петно, наречено размер на петна.
Сканираща бобина – използва се за отклоняване на лъча върху повърхността на пробата.
Детектор – състои се от няколко детектора, способни да различават вторични електрони, обратно разсеяни електрони и дифрагирани обратно разсеяни електрони. Функционалността на детектора зависи силно от скоростта на напрежението, плътността на пробата.
Устройство за показване (устройство за извеждане на данни)
захранване
Вакуумна система
Подобно на трансмисионния електронен микроскоп, сканиращият електронен микроскоп не трябва да съдържа вибрации и никакви електромагнитни елементи.
